双闭环控制的生物芯片点样仪

• 作者: 吴岚军 李建国 闫献勇
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 闭环控制 光栅尺 点样仪
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 制造与工艺
• 页码范围: 67-68,71
• 页数: 3页
• 分类号: TP731
• 字数: 1872字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2004.06.016

摘要

在高定位精度的运动系统中,光栅尺做为位置反馈元件大量使用.本点样仪选用Galil公司的DMC1800控制卡、松下交流伺服电机、雷尼绍光栅尺和贝塞德运动单元,定位精度可以满足设计要求.控制软件采用VB编写.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李建国	中国科学院电工研究所	91	924	17.0	27.0
2	闫献勇	中国科学院电工研究所	10	39	3.0	6.0
3	吴岚军	中国科学院电工研究所	14	118	5.0	10.0