8英寸硅单晶抛光片生产线在京建成

• 作者: 李家鸣
• 来源期刊: 功能材料信息
• 学科: 经济
• 关键词: 北京 硅单晶抛光片 硅材料 电子产品 市场 集成电路
• 年，卷（期）: gnclxx_2004,（1）
• 页码范围: 55
• 页数: 1页
• 分类号: F426.6

摘要

报导，由北京有色金属研究总院承担的“直径200mm(8英寸)硅单晶抛光片高技术产业化示范工程”不久前通过国家验收。这是我国建设成功的第一条满足0。25微米线宽集成电路需求的8英寸硅单晶抛光片生产线。该院利用自主知识产权技术，集几十年来在硅材料领域的研究成果和产业化经验，在8英寸硅单晶抛光片技术开发和5、6英寸硅单晶抛光片产业化技术基础上，进一步