微加速度传感器的研究现状及发展趋势

• 作者: 刘妤 刘玉奎 张流强 梁玉前 温志渝
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微加速度传感器 MEMS
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 光电子技术与器件
• 页码范围: 81-86
• 页数: 6页
• 分类号: TH824.4
• 字数: 5363字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.z1.018

摘要

基于MEMS技术的微型传感器是微机电系统研究中最具活力与现实意义的领域.微加速度传感器作为微传感器的重要分支一直是热门的研究课题.本文基于对微加速度传感器研究现状的综述,探讨了微加速度传感器的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温志渝	重庆大学光电工程学院	143	1259	18.0	26.0
2	刘玉奎	重庆大学光电工程学院	18	135	6.0	11.0
4	刘妤	重庆大学光电工程学院	6	64	3.0	6.0
8	张流强	重庆大学光电工程学院	34	188	7.0	11.0
9	梁玉前	重庆大学光电工程学院	15	266	6.0	15.0