基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器设计

• 作者: 张建碧
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 微加工 微压阻式加速度传感器 有限元分析 硅
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: 产品应用与市场
• 页码范围: 39-41
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1376字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1681-1070.2009.10.010

摘要

硅微加速度传感器是MEMS器件中的一个重要分支,具有十分广阔的应用前景.由于硅微加速度传感器具有响应快、灵敏度高、精度高、易于小型化等优点,而且该种传感器在强辐射作用下能正常工作,因而在近年来发展迅速.文章首先对传感器结构及工作原理进行了简单介绍,给出了一种基于MEMs技术制作的压阻式硅微加速度传感器的结构和工艺,并对制作的加速度传感器样品进行了动态测试,测试结果表明与理论设计值基本吻合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张建碧		11	45	4.0	6.0