基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器的设计

• 作者: 张建碧
• 来源期刊: 电子科技
• 学科: 工学
• 关键词: 微加工 微压阻式加速度传感器 有限元分析 硅
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: 电子·电路
• 页码范围: 40-42
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1856字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7820.2009.10.012

摘要

随着硅微机械加工技术(MEMS)的快速发展,各种基于MEMS技术的器件应运而生.文中首先对传感器结构及工作原理进行了简单介绍,给出了一种基于MEMS技术制作的压阻式硅微加速度传感器的结构和工艺,并对制作的加速度传感器样品进行了动态测试,测试结果表明实验与理论设计值相符.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张建碧	重庆城市管理职业学院信息工程学院	11	45	4.0	6.0