微机电系统(MEMS)技术及发展趋势

• 作者: 朱文坚 王亚珍
• 来源期刊: 机械设计与研究
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 微机械加工 微传感器 微执行器
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 10-12
• 页数: 3页
• 分类号: TH703.8
• 字数: 4803字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-2343.2004.01.001

摘要

主要介绍了微机电系统(MEMS)(Micro Electro Mechanical System)的发展概况、特点、加工技术及其发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱文坚	华南理工大学机电工程系	37	448	8.0	20.0
2	王亚珍	华南理工大学机电工程系	5	181	4.0	5.0