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摘要:
采用一种新型的等离子体浸没式离子注入技术(PⅢ)在渗硼后的50Mn钢试样上制备出了厚度为0.15~0.2 mm的立方氮化硼(c-BN)表面硬化层.经X射线电子能谱(XPS)和X射线衍射分析(XRD),发现硬化层中的组织有立方氮化硼(c-BN)、六方氮化硼(h-BN)、B2O3,FeB和Fe2B.在表层60 nm的深度范围内,c-BN的含量较高.采用球盘式无润滑滑动摩擦实验和维氏显微硬度实验分别对渗硼+PⅢ复合处理以及单独渗硼的50 Mn钢试样的性能进行了对比实验.结果表明:与单独渗硼的试样相比,经渗硼+PⅢ复合处理的试样具有高得多的硬度(高达HV0.1N44GPa)和耐磨性.
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文献信息
篇名 PIII技术在制备c-BN硬化层中的应用
来源期刊 稀有金属 学科 工学
关键词 立方氮化硼(c-BN) 渗硼 等离子体浸没式离子入注(PIII)
年,卷(期) 2004,(4) 所属期刊栏目 研究论文
研究方向 页码范围 690-694
页数 5页 分类号 TG156.8
字数 3314字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.0258-7076.2004.04.020
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 王曦 中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室 60 322 10.0 15.0
2 王钧石 西南交通大学材料科学与工程学院 15 80 5.0 8.0
3 柳襄怀 中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室 20 202 9.0 14.0
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立方氮化硼(c-BN)
渗硼
等离子体浸没式离子入注(PIII)
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