温度对CVD法在纤维表面制备BN涂层的影响

• 作者: 乔振杰 胡建宝 董绍明 马良来 高乐
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: CVD BN涂层 沉积速率 微观结构
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 31-37
• 页数: 7页
• 分类号: TQ174
• 语种: 中文
• DOI: 10.11868/j.issn.1001-4381.2016.001069

摘要

采用BCl3-NH3-H2体系,在不同温度下通过化学气相沉积法在SiC纤维表面沉积BN涂层.研究温度对BN涂层的沉积速率、形貌、组成以及结构的影响.结果表明:在低温阶段(700~900℃),生长速率随着温度的增加而增大,该结果与阿仑尼乌斯定律相一致,计算得出该反应表观活化能为57. 2kJ/mol.涂层表面光滑致密,沉积均匀,沉积速率受表面反应控制.在900℃时,反应速率达到最大值 (174nm/h),此时,反应速率由表面反应控制转变为物质运输控制.在高于900℃时,由于气相成核的缘故,沉积速率随着温度的增加而减小,涂层变得疏松粗糙.BN涂层为化学计量比1: 1的乱层结构,有序度随着制备温度的升高而增大.