微小差分电容检测技术的研究

• 作者: 张佳民 朱武 熊斌 王跃林 车录锋
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 加速度计 微机械 组合放大器
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 传感技术
• 页码范围: 203-207
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 2204字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2004.03.004

摘要

在 MEMS 电容式加速度传感器的测试中, 由于受单放大器开环增益有限的影响, 提高加速度计的分辨力和稳定性是非常困难的. 针对这种情况, 本文采用组合放大器和地对地解调等先进技术对高频小信号进行高精度处理, 实验结果表明, 电路可检测的最小差分电容可达到5 aF(5×10-18F).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱武	上海电力学院信控系	72	419	11.0	17.0
2	熊斌	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	54	412	11.0	16.0
3	王跃林	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	84	623	14.0	18.0
4	张佳民	上海电力学院信控系	33	321	10.0	16.0
5	车录锋	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	38	363	11.0	16.0