半导体制造中的设备效率(OEE)

• 作者: 梁静 钱省三
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 年，卷（期）: 2004,（7）
• 所属期刊栏目: 设备维护与保养
• 页码范围: 76-78
• 页数: 3页
• 字数: 1812字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2004.07.016

摘要

在半导体制造车间中,设备是非常昂贵的,设备折旧与维修占生产成本组成的最大比重,设备效率的提高显得尤为重要.为了更好地控制设备效率,国际半导体设备与材料组织(SEMI)提出了一种能准确计算设备效率的方法-全面设备效率(OEE).针对0EE做简要概述,着重论述其在半导体制造厂的实际应用.