硅微加速度计测控线路设计及参数调整方法研究

• 作者: 周百令 夏敦柱 苏岩
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 交通运输
• 关键词: MEMS 硅微加速度计 闭环系统校正 灵敏度
• 年，卷（期）: 2004,（9）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 41-42,45
• 页数: 3页
• 分类号: TP212|U666.1
• 字数: 2480字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2004.09.018

摘要

首先介绍了硅微加速度计机械部分的工作原理及电容检测方法,同时分析了整个电路系统框图,然后构建出硅微加速度计系统总体结构,并将机械部分和电路部分在S域进行统一整合.利用MATLAB软件控制工具研究了校正环节时系统稳定性和动态性能的影响情况.通过大量实验给出了优化参数组合下的开环频率特性和零位漂移特性.最后得出结论:通过对重要校正环节的参数进行正确的调整可以很好地改善系统工作性能,并能提高系统输出的稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周百令	东南大学仪器科学与工程系	106	1086	17.0	23.0
2	夏敦柱	东南大学仪器科学与工程系	22	160	8.0	11.0
3	苏岩	东南大学仪器科学与工程系	15	171	8.0	12.0