连续表面微透镜列阵元件检测

• 作者: 杜春雷 王长涛 邓启凌
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微光学元件 检测 连续表面
• 年，卷（期）: 2004,（11）
• 所属期刊栏目: 波导与集成光学
• 页码范围: 1317-1320
• 页数: 4页
• 分类号: TB256|TB96
• 字数: 2457字
• 语种: 中文

摘要

系统分析了连续表面微透镜列阵的几何参量和光学性能的检测方法和评价标准,针对典型的折射型聚焦列阵元件,给出其结构尺寸及光学性能的测试结果,两者结果一致.从而建立了一套通过测试元件的几何参量、加工误差及光学性能指标来综合评估微光学元件性能的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜春雷	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	72	596	14.0	18.0
2	邓启凌	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	24	153	8.0	10.0
3	王长涛	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	14	65	5.0	7.0