关于半导体检测分析设备ICP-MS的日常维护

• 作者: 徐继平 王喆 王学武
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 设备维护与保养
• 页码范围: 59-60
• 页数: 2页
• 字数: 1593字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2004.04.017

摘要

介绍了半导体检测设备ICP-MS在半导体工业中的发展及几个重要组成部件的功用,着重介绍了该设备各主要部件的维护.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐继平		1	0	0.0	0.0
2	王学武		1	0	0.0	0.0
3	王喆		1	0	0.0	0.0