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摘要:
根据电涡流检测原理,将Luquire等人采用矢量磁位法求出的涡流检测中有限长度轴对称线圈的磁场分布格林函数的解应用到多层厚度检测中,提出了多层金属结构厚度涡流检测的正向问题的数学模型,进行了仿真研究.同时,采用最小二乘法与神经网络模型对由实验方法获得的检测值进行了拟合与实验验证.实验结果表明,本文研究的理论和算法与实际检测结果有比较一致的规律性.
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基于FPGA的CMP电涡流终点检测装置设计
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 多层厚度电涡流检测阻抗模型仿真及验证
来源期刊 仪器仪表学报 学科 工学
关键词 多层结构 厚度检测 涡流检测 正向问题 神经网络
年,卷(期) 2004,(4) 所属期刊栏目 学术论文
研究方向 页码范围 473-476,480
页数 5页 分类号 TM93
字数 3022字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:0254-3087.2004.04.015
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 吴昭同 浙江大学现代制造工程研究所 177 4029 36.0 52.0
2 严仍春 5 53 3.0 5.0
3 黄平捷 浙江大学现代制造工程研究所 52 368 10.0 16.0
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研究主题发展历程
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多层结构
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涡流检测
正向问题
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仪器仪表学报
月刊
0254-3087
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大16开
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1980
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