硫化过程中FeS2薄膜组织结构和电学性能的变化

• 作者: 刘艳辉 孟亮 张秀娟
• 来源期刊: 浙江大学学报（工学版）
• 学科: 工学
• 关键词: FeS2 薄膜 结构 电阻率 载流子浓度
• 年，卷（期）: 2004,（10）
• 所属期刊栏目: 无线电电子学、电信技术
• 页码范围: 1239-1243
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.05
• 字数: 3800字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2004.10.001

摘要

采用Fe膜热硫化法在673 K和773 K温度下形成了FeS2多晶薄膜.分析了不同硫化时间对晶体结构、化学成分、晶粒大小、电阻率和载流子浓度的影响.673 K下硫化超过20 h及773 K温度下硫化超过1 h,Fe膜生成FeS2比较充分.随硫化时间延长,673 K下硫化的薄膜晶粒直径基本保持在50 nm左右,但电阻率增大,载流子浓度下降.773 K下硫化的薄膜晶粒尺寸及电阻率均随硫化时间延长而明显增大,但载流子浓度变化不明显,通常低于1×1025m-3的水平.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孟亮	浙江大学金属材料研究所	74	680	15.0	21.0
2	刘艳辉	浙江大学金属材料研究所	17	117	6.0	10.0
3	张秀娟	浙江大学金属材料研究所	4	25	3.0	4.0