用聚焦飞秒激光描绘未来计算机用芯片

• 作者: 邱建荣
• 来源期刊: 科技中国
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 前沿
• 页码范围: 32
• 页数: 1页
• 语种: 中文

摘要

现在的计算机用芯片采用光刻等精细半导体工艺,形成高度集成的平面电路.为了提高计算机的运行速度和运算能力,一个研究方向是进一步挑战半导体加工极限,使线路更精细,功能结构更紧凑密集.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邱建荣	中国科学院上海光学精密机械研究所	22	311	9.0	17.0