一种基于滑膜阻尼效应的新型微机械陀螺

• 作者: 李昕欣 焦继伟 熊斌 王跃林 车录锋 陈永
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 微机械陀螺 体微机械加工 栅形电极 滑膜阻尼
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 103-105,149
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.12
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2004.02.003

摘要

介绍了一种基于滑膜阻尼效应的新型音叉式微机械陀螺.该陀螺包括两个驱动质量块和由各自驱动质量块支撑的检测质量块,通过检测质量块上的栅形电极与玻璃衬底上的固定检测电极之间的电容变化实现角速度信号的检测.对陀螺进行了结构设计和分析.在陀螺芯片的制作过程中,解决了深反应离子刻蚀过程中的根部效应和滞后效应等问题.初步测试结果表明,该陀螺灵敏度和非线性度比较理想.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李昕欣	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	52	280	11.0	13.0
2	熊斌	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	54	412	11.0	16.0
3	王跃林	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	84	623	14.0	18.0
4	车录锋	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	38	363	11.0	16.0
5	陈永	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	11	140	6.0	11.0
6	焦继伟	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	24	143	7.0	10.0