用劳埃德镜干涉原理进行圆度误差测量

• 作者: 花世群
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光学技术与仪器 圆度误差 激光干涉 劳埃德镜 CCD
• 年，卷（期）: 2004,（8）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 1013-1017
• 页数: 5页
• 分类号: TG83
• 字数: 2729字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2004.08.028

摘要

提出一种应用线阵CCD自动测量圆度误差的新方法.论述了系统利用劳埃德镜干涉装置,通过线阵CCD图像处理系统自动测量圆度误差的工作原理及过程设计.测量结果表明,新的测量方法实现了圆度误差的实时精确在线测量.该测量系统具有一定的实用价值及较广阔的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	花世群	江苏大学理学院	27	130	7.0	9.0