氧化锌薄膜的电化学沉积法制备及受激发射研究

• 作者: 崔一平 张宇 张海黔 徐岭 徐骏 王刚 翁健 陈坤基 顾宁 马懿
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜物理学 氧化锌薄膜 电化学沉积 受激发射 随机激光
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 97-100
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1|O484.4
• 字数: 2252字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2004.01.026

摘要

采用一种简单的电化学沉积法,在三电极化学池中,以单一的硝酸锌水溶液作为电沉积液,制备了高光学质量的半导体ZnO薄膜.透射光谱测量表明其光学带隙为3.35 eV,400～2000 nm波段的光学透过率大于80%.X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)研究表明,ZnO薄膜为纤锌矿结构的无序多晶颗粒膜,微晶尺寸小于250 nm.当用355 nm的皮秒脉冲激光作为抽运源垂直入射薄膜表面时,可以检测到400 nm附近的近紫外受激发射光,其强度随入射强度呈超线性增长关系,阈值在196.8 kW/cm2处,并且激光发射是多模的和各个方向的,还与被激发的面积有关,表现为随机激光发射机制.