Sb∶SnO2/SiO2纳米复合薄膜的光学及气敏特性

• 作者: 张伟清 梁培辉 顾铮(一先)
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 纳米薄膜 p-偏振光反射比 光学参数 吸收边 气敏特性
• 年，卷（期）: 2004,（8）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 959-962
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2709字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2004.08.016

摘要

采用溶胶-凝胶(sol-gel)工艺制备了Sb∶SnO2/SiO2复合膜.通过原子力显微镜(AFM)观察了薄膜样品的表面形貌,利用紫外-可见光谱,p-偏振光反射比角谱研究了复合薄膜的光学特性.结果表明,薄膜中的晶粒具有纳米尺寸(～35 nm)的大小,比表面积大,孔隙率高;薄膜的透光率高,可见光波段近95%;其光学禁带宽度约3.67 eV.因此Sb∶SnO2/SiO2纳米复合膜可作为气敏薄膜的理想选择.通过对三种不同的气体C3H8,C2H5OH及NH3气敏特性的测试表明,Sb掺杂大大提高了SnO2薄膜对C2H5OH的灵敏度,纳米Sb∶SnO2/SiO2复合膜的气敏灵敏度高于纯SnO2薄膜及Sb掺杂的SnO2薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁培辉	中国科学院上海光学精密机械研究所	16	89	6.0	8.0
2	顾铮(一先)	上海理工大学理学院光电功能薄膜实验室	17	97	5.0	9.0
3	张伟清	中国科学院上海光学精密机械研究所	10	77	6.0	8.0