体硅加工微电极传感器研究

• 作者: 刘敬伟 夏善红 白强 边超 陈绍凤 韩泾鸿
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 传感器 电流型 微电极 体硅加工 微反应池
• 年，卷（期）: 2004,（z3）
• 所属期刊栏目: 传感器与仪器仪表元器件
• 页码范围: 144-147
• 页数: 4页
• 分类号: TP2
• 字数: 2664字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2004.z3.048

摘要

应用新的体硅加工技术和新的电极表面修饰方法,提出了一种新型电流型微电极传感器.以与IC兼容的硅作为基底材料,利用体硅加工工艺,采用各向异性硅腐蚀及SU-8微反应池方法制成了新型体硅加工电极.同时,铂化并聚合被首次用来作电极表面修饰.以葡萄糖检测为例,使用吡咯作为聚合材料,新传感器与传统的电流型传感器相比,有较小的敏感面积(1mm×1mm)、较大的敏感系数(39.640nA.mM-1.mm-2)、较低的检测下限(1×10-4M)、较宽的检测范围(1×10-4～1×10-2M)、较好的重现性(五次测量的RSD为3.2%)与稳定性(温室保存一个月后活性保留95%以上)、以及易于与处理电路集成等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩泾鸿	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	29	197	7.0	12.0
2	白强	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	11	159	8.0	11.0
3	陈绍凤	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	27	268	10.0	15.0
4	边超	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	39	136	7.0	10.0
8	刘敬伟	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	12	21	3.0	3.0