热剥离薄膜图案化加工方法

• 作者: 王哲 邢汝博 韩艳春
• 来源期刊: 科技开发动态
• 学科: 工学
• 关键词: 热剥离薄膜图案化 加工方法 转移微模塑 环氧树脂模板 加工成本
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 页码范围: 46
• 页数: 1页
• 分类号: TQ320.67
• 语种: 中文

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邢汝博	中国科学院长春应用化学研究所	7	66	4.0	7.0
2	韩艳春	中国科学院长春应用化学研究所	16	87	5.0	9.0
3	王哲	中国科学院长春应用化学研究所	32	141	7.0	11.0