纳米多层结构实现硬质薄膜韧化的方法、机理与应用

• 作者: 朱晓莹 杜军 王红美
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: 硬质薄膜 纳米多层 韧化 界面韧性 冲蚀
• 年，卷（期）: 2017,（8）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 102-114
• 页数: 13页
• 分类号: TG174.444|TB383
• 语种: 中文
• DOI: 10.11868/j.issn.1001-4381.2016.000535

摘要

硬质薄膜的韧化正成为气相沉积硬质薄膜研究和应用的重点.纳米多层结构设计是实现硬质薄膜强韧化的有效方法.本文介绍了纳米多层薄膜组元和韧化机理,讨论了周期、调制周期比、微观结构等子层因素对强韧化的影响,以及耐磨损、耐冲蚀场合的应用现状、问题以及原因.微裂纹在多层界面间偏折是纳米多层结构韧化的主要机理,但纳米多层结构界面越多,其裂纹萌生源越多,如果界面韧性较差,纳米多层结构会很快发生层-层剥离而失效.因此,纳米多层薄膜的韧化效果决定于界面的质量,而不是数量.必须获得高质量的层间界面,从断裂力学角度考虑抑制微裂纹的扩展,才能发挥纳米多层结构薄膜的优势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱晓莹	装甲兵工程学院再制造技术国家重点实验室	22	133	6.0	10.0
2	王红美	装甲兵工程学院再制造技术国家重点实验室	20	222	8.0	14.0
3	杜军	装甲兵工程学院再制造技术国家重点实验室	34	211	9.0	12.0