纳米金刚石在不同沉积条件下的生长研究

• 作者: 张兵 王必本
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 化学气相沉积 纳米金刚石 辉光放电
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 纳米技术
• 页码范围: 73-76,80
• 页数: 5页
• 分类号: O781
• 字数: 2677字
• 语种: 中文

摘要

用CH4和H2为反应气体,在热丝化学气相沉积系统中用不同的沉积条件直接在Si衬底上制备了纳米金刚石,并用高分辨扫描电子显微镜和显微Raman光谱仪对它们进行了表征.结果表明,在热丝化学气相沉积系统中用连续辉光放电在Si衬底上沉积的金刚石是纳米金刚石颗粒;而用辉光放电在Si衬底上先进行金刚石核化,然后再用热丝化学气相沉积生长,可形成纳米金刚石膜.不同结构纳米金刚石的形成主要是由于在不同的沉积条件下非金刚石相被刻蚀的程度不同以及形成金刚石前驱物的运动不同所致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王必本	北京工业大学应用数理学院	28	76	5.0	6.0
2	张兵	北京工业大学应用数理学院	23	79	5.0	7.0