基于SOI材料的阵列波导光栅的制作

• 作者: 刘育梁 方青 李芳
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 复用/解复用器 阵列波导光栅(AWG) 信道间隔 中心波长 相邻信道串扰
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 143-146
• 页数: 4页
• 分类号: TN252
• 字数: 2473字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2005.02.015

摘要

采用ICP刻蚀的方法,在SOI材料上制作出了中心波长为1.5509μm、信道间隔为200GHz的5×5阵列波导光栅(AWG).测试中心波长与设计值相差0.28nm,测试波长间隔与设计值相差在0.02nm之内,相邻信道串扰接近10dB,信道插入损耗均匀性为0.7dB,测试结果表明该器件能够初步达到分波功能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李芳	中国科学院半导体研究所光电子研发中心	156	1240	17.0	28.0
2	刘育梁	中国科学院半导体研究所光电子研发中心	44	362	13.0	16.0
3	方青	中国科学院半导体研究所光电子研发中心	8	14	3.0	3.0