基于绝缘体上硅材料的25通道200GHz的阵列波导光栅

• 作者: 刘丽杰 吴远大 安俊明 王玥 胡雄伟 袁配
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅基光电子 阵列波导光栅 双刻蚀结构 波分复用/解复用器
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 页码范围: 673-678
• 页数: 6页
• 分类号: TN256
• 字数: 485字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11972/j.issn.1001-9014.2018.06.006

摘要

报道了基于绝缘体上硅材料的25通道、信道间隔200 GHz的阵列波导光栅,分别优化了输入波导/输出波导/阵列波导间的最小间距(Δxi/Δxo/d),及其自由传播区和阵列波导之间边界结构(W2/L2/L3).实验结果表明,该阵列波导光栅的插入损耗为5～7 dB,串扰为13 ～ 15 dB,该阵列波导光栅的性能得到有效提升.同时也提出了减小插损与串扰的进一步优化方案.