氮化硼薄膜制备技术研究进展

• 作者: 王为民 贾铁昆
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化硼 薄膜 等离子体 物理气相沉积 化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2005,（z2）
• 所属期刊栏目: 电、磁功能材料
• 页码范围: 290-292
• 页数: 3页
• 分类号: TB3
• 字数: 4393字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2005.z2.091

摘要

简述了氮化硼的优异性能和广阔的应用前景,概述了氮化硼薄膜的制备方法,分析了薄膜制备过程中的影响因素,最后对氮化硼薄膜今后的研究方向提出展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾铁昆	武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室	6	18	2.0	4.0
2	王为民	武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室	76	564	14.0	20.0