导电性氧化镓单晶

• 来源期刊: 电子元器件应用
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化镓 氮化镓 发光二极管 衬底 蓝光 单晶 导电性 多层 系列化 紫外光
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 页码范围: 14
• 页数: 1页
• 分类号: TN304

摘要

最近，光波公司和早稻田大学合作开发了导电性氧化镓单晶。氧化镓单晶具有蓝光、紫外光的透过性，其电阻率为0．02Ω·cm。采用氧化镓单晶作GaN的衬底材料，引起了业界人士极大的关注。用MOCVD法在氧化镓衬底上生长多层氮化镓系列化合物可得到垂直发光的蓝光发光二极管。