表面分析技术在材料研究中的应用

• 作者: 徐炜新
• 来源期刊: 金属材料研究
• 学科: 工学
• 关键词: 表面分析技术 材料研究 应用 材料科学 MASS 基本原理 ION
• 年，卷（期）: jsclyj,（2）
• 页码范围: 11-17
• 页数: 7页
• 分类号: TG178

摘要

简要叙述了在材料科学中常用的三种表面分析技术AES(Auger Electron Spectroscopy)、XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy)和SIMS(Secondary Ion Mass Spectroscopy)的基本原理和装置。介绍了它们在这一领域中的部分应用。