多孔硅在射频/微波电路中的研究进展

• 作者: 胡惟文 郭杰荣 龙永福
• 来源期刊: 湖南文理学院学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 多孔硅 硅衬底 射频/微波电路
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 物理
• 页码范围: 20-22,28
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 字数: 2445字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6164.2005.03.007

摘要

多孔硅介质膜在射频/微波电路中具有很好的应用前景. 阐述了多孔硅作介质膜的优点,比较研究了不同厚度的多孔硅厚膜上平面电感器的性能参数比较和不同介质膜上螺旋电感性能比较,介绍了多孔硅在射频/微波电路的研究进展,并对存在的主要问题作了讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭杰荣	湖南文理学院物理与电子科学系	64	168	6.0	10.0
2	胡惟文	湖南文理学院物理与电子科学系	41	240	11.0	14.0
3	龙永福	湖南文理学院物理与电子科学系	6	21	2.0	4.0