电子束曝光机背散射电子检测电路的研究

• 作者: 李晨菲 薛虹
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描电子束曝光机 背散射检测器 模拟电路 噪声
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 电子束技术
• 页码范围: 15-19
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2956字
• 语种: 中文

摘要

概述了扫描电子束曝光机的检测对准原理,介绍了背散射电子信号特性及其在对准技术中的作用,并对背散射电子检测电路的组成和工作原理进行了阐述.同时给出了一种背散射电子检测电路实验装置的框图和原理图,所设计的多级滤波电路和PCB板的布线方式实现了对模拟信号处理电路噪声的抑制,从而得到了清晰的专用对准标记形貌图像.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛虹	中国科学院电工研究所	18	30	3.0	4.0
2	李晨菲	中国科学院电工研究所	1	1	1.0	1.0