圆柱腔内微波等离子体激励的研究

• 作者: 安同一 廖斌 张莲 朱守正
• 来源期刊: 华东师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 微波等离子体 圆柱腔 TM01p模 FD-TD数值方法
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 页码范围: 52-57
• 页数: 6页
• 分类号: TN99
• 字数: 3066字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-5641.2005.02.009

摘要

根据谐振腔理论,证明圆柱反应腔内的主模为TM01p模,并在圆柱坐标下采用FD-TD数值方法求解圆柱形反应腔中的场分布情况,改善和提高微波等离子体反应装置的激励性能.等离子体实际分布与场分布的预测结果基本吻合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	廖斌	华东师范大学微波研究所	33	128	6.0	9.0
2	朱守正	华东师范大学微波研究所	59	225	8.0	12.0
3	安同一	华东师范大学微波研究所	8	37	4.0	6.0
4	张莲	华东师范大学微波研究所	2	33	2.0	2.0