高温退火

• 来源期刊: 热处理工艺与设备：英文版
• 学科: 工学
• 关键词: 高温退火 极限压力 电子自排列 MOS转换器 化学真空沉积
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 页码范围: 13-15
• 页数: 3页
• 分类号: TG156.2

摘要

SY508-3-59[篇名]A Self-Aligned, Electrically Separable Double-Gate MOS Transistor Technology for Dynamic Threshold Voltage Application，SY508-3-60[篇名]Anomalous phosphorous diffusion，……