双材料微梁阵列非制冷红外成像系统--微梁阵列的设计与制作

• 作者: 伍小平 张青川 段志辉 潘亮 王玮冰 董凤良 郭哲颖 陈大鹏
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 非制冷红外成像 光学读出 双材料微悬臂梁阵列
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 页码范围: 409-413
• 页数: 5页
• 分类号: TN216
• 字数: 3650字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2005.06.003

摘要

给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件--双材料微悬臂梁阵列的设计和制作.微梁阵列是无硅基底的SiNx/Au双材料单层膜结构,其制作工艺简单、可以直接放在空气中成像.实验使用了设计制作的140×98微梁阵列和高信噪比的12-bit CCD,得到120℃以上的物体热像,噪声等效温度差(NETD)为7K左右,实验结果与热机械模型预测结果一致.