基于亚像素综合定位匹配算法的MEMS平面运动测量

• 作者: 史铁林 来五星 白金鹏 谢勇君
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 平面运动测量 标准化协方差相关法 亚像素步长相关法 曲面拟合算法
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 92-96
• 页数: 5页
• 分类号: TP751
• 字数: 3620字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2005.02.002

摘要

动态测试对MEMS的设计、制造和可靠性具有非常重要的意义.提出了快速高精度的综合亚像素定位匹配算法,应用于MEMS平面运动测量.该综合算法把标准化协方差相关法、亚像素步长相关法、曲面拟合法、序惯相似性检测算法和单纯形法有机结合,综合运用各算法的优点,达到了提高亚像素定位速度和精度的目的.通过位移测量实验和对硅微陀螺仪质量块面内振动及谐振频率的测量,验证了该综合算法的可行性和有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	史铁林	华中科技大学机械学院微系统研究中心	192	2245	25.0	38.0
2	来五星	华中科技大学机械学院微系统研究中心	23	386	10.0	19.0
3	白金鹏	华中科技大学机械学院微系统研究中心	6	114	4.0	6.0
4	谢勇君	华中科技大学机械学院微系统研究中心	8	118	4.0	8.0