一种半导体压力传感器

• 作者: 姚素英 张为 张生才 张维新
• 来源期刊: 天津大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 绝缘体上硅 高温压力传感器 微机械加工
• 年，卷（期）: 2005,（10）
• 所属期刊栏目: 电子信息工程
• 页码范围: 901-903
• 页数: 3页
• 分类号: TN379
• 字数: 1437字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0493-2137.2005.10.012

摘要

根据有限元工具ANSYS的分析结果,设计了一种半导体压阻式压力传感器--绝缘体上硅(SOI)压力传感器,并完成了制作.测试表明,除具有良好的静态特性之外,与同类压力传感器相比,SOI压力传感器的工作温区宽,最高工作温度可达220℃;稳定性高,30 d内的零点漂移小于0.2%;温度特性好,灵敏度温度系数约为-5.1×10-4/℃.此外传感器的结构简单,采用半导体集成电路平面工艺结合微机械加工技术制作,易于实现批量生产,有广阔的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚素英	天津大学电子信息工程学院	160	911	14.0	21.0
2	张生才	天津大学电子信息工程学院	41	316	11.0	15.0
3	张为	天津大学电子信息工程学院	71	358	10.0	15.0
4	张维新	天津大学电子信息工程学院	10	86	7.0	9.0