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篇名 THE EFFECTS OF NEGATIVE BIAS AND FLUX RATIO ON THE PROPERTIES OF TiN THIN FILMS FORMED BY FILTERED CATHODIC ARC PLASMA TECHNIQUE
来源期刊 金属学报(英文版) 学科 工学
关键词
年,卷(期) 2005,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 369-374
页数 6页 分类号 TG1
字数 语种 英文
DOI
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
金属学报(英文版)
月刊
1006-7191
21-1361/TG
16开
沈阳文化路72号
1988
eng
出版文献量(篇)
2302
总下载数(次)
1
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
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