大面积应用的RF-PECVD技术研究

• 作者: Y.Yin 杭凌侠
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 大面积 均匀性 等离子体增强化学气相沉积(PECVD) 双移动电极
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 172-176,180
• 页数: 6页
• 分类号: O539|TB43
• 字数: 4424字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2005.03.004

摘要

本文探讨采用小电极与大面积基片相对移动的方法来制造大面积薄膜的可行性,提出了采用小电极等离子体源在大面积基片上移动工作的新方法,可用于沉积(或刻蚀)均匀大面积薄膜或根据需求设计的大面积上非均匀膜厚分布的薄膜,从原理上避免大电极带来的不均匀性.介绍了这种方法中由两个电极构成的等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统.分析了当电极移动时,电极与真空室壁相对位置发生变化时对等离子体参数的影响.我们发现当两个射频电极之间的相位差为定值时,等离子体的分布随电极与真空室壁的距离(极-地距)变化而变化.当极-地距小于80mm时,随极-地距的增加,等离子体的悬浮电位和基片的自偏压下降,离子密度变化不明显.当极-地距大于80mm时,等离子体的分布呈稳定状态,各参数变化不明显.采用PECVD方法镀制了大面积薄膜厚度呈均匀分布和非均匀分布的两种薄膜,提供了膜厚呈线性渐变和抛物线变化的两种薄膜样片,显示了该方法的灵活性和可行性.