原文服务方: 中国机械工程       
摘要:
介绍了一种具有新结构的温湿压集成传感器,分别采用了热敏电阻法测量温度、导热检测法检测湿度、应变电阻法检测压力.这种集成传感器主要是采用硅、氮化硅和铂金为材料制作的.测量温度和湿度的铂金电阻都在悬空氮化硅薄膜上,测量压力的压力敏感膜也是由悬空氮化硅薄膜形成的.这种传感器与一般的集成传感器相比,具有结构简单、工艺简单、精度高的优点.
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 基于MEMS技术的温湿压集成传感器
来源期刊 中国机械工程 学科
关键词 MEMS 温湿压集成传感器 氮化硅 薄膜
年,卷(期) 2005,(z1) 所属期刊栏目 微纳传感器与执行器
研究方向 页码范围 166-168
页数 3页 分类号 TP212
字数 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.056
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 赵湛 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 54 723 10.0 26.0
2 王奇 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 12 30 3.0 5.0
6 方震 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 32 605 8.0 24.0
10 曾欢欢 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 4 8 2.0 2.0
14 张博军 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 7 29 3.0 5.0
传播情况
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2006(1)
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研究主题发展历程
节点文献
MEMS
温湿压集成传感器
氮化硅
薄膜
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国机械工程
月刊
1004-132X
42-1294/TH
大16开
湖北省武汉市洪山区南李路湖北工业大学
1990-01-01
中文
出版文献量(篇)
13171
总下载数(次)
0
总被引数(次)
206238
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