MPCVD实验条件对碳氮纳米管薄膜场发射性能的影响

• 作者: 姚宁 张兵临 杨仕娥 赵瑞霞 鲁占灵
• 来源期刊: 郑州大学学报（工学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 正交设计 碳氮纳米管 场发射
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 页码范围: 61-64
• 页数: 4页
• 分类号: O462.4
• 字数: 1814字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-6833.2005.03.016

摘要

通过正交设计试验法研究了微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)实验条件对碳氮纳米管薄某》⑸湫阅艿挠跋?结果表明,当微波功率为1 500W、反应气压为8.5kPa、甲烷、氮气和氢气的流量比为8:20:80时,制备的碳氮纳米管薄膜场发射特性最好,其开启电场强度为3.2 V/μm,电场强度为8.0V/μm时的电流密度为3.5 mA/cm2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚宁	郑州大学材料物理教育部重点实验室	122	692	12.0	18.0
2	张兵临	郑州大学材料物理教育部重点实验室	95	608	12.0	18.0
3	鲁占灵	郑州大学材料物理教育部重点实验室	25	166	8.0	11.0
7	赵瑞霞		10	10	2.0	2.0
8	杨仕娥	郑州大学材料物理教育部重点实验室	68	513	12.0	18.0