氮化铝基片超精密加工的实验研究

• 作者: 吕冰海 周兆忠 袁巨龙 郑家锦
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化铝(A1N)基片 超精密加工 研磨 抛光 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 36-38,46
• 页数: 4页
• 分类号: TG58
• 字数: 2071字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2005.02.011

摘要

氮化铝材料具有较高的热导率和良好的介电性能,机械强度高,热膨胀系数与半导体硅材料相近,非常适于制造大功率或快速半导体器件的散热基片和封装材料.本文采用游离磨料加工方法对氮化铝基片表面进行了研磨、抛光,讨论了不同加工参数对试件表面粗糙度和材料去除率的影响.采用表面粗糙度仪和厚度仪分别对超精密加工后AIN基片的表面粗糙度及去除厚度进行了测量.实验结果表明,在本实验条件下可以获得表面粗糙度Ra为8nm的超光滑表面.实验还采用XJZ-5型电子显微镜对加工过程中AIN的表面结构进行了观察,分析了不同超精密加工阶段的材料去除机理,同时发现晶粒间孔隙会降低AIN基片的可加工性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁巨龙	浙江工业大学精密工程研究室	116	1467	19.0	35.0
2	吕冰海	浙江工业大学精密工程研究室	51	710	11.0	26.0