高性能氮化铝陶瓷基片生产关键技术研究

• 作者: 刘健 刘志平
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化铝陶瓷基片 生产 关键技术
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 封装、组装与测试
• 页码范围: 1-3,6
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.94
• 字数: 2104字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1681-1070.2007.12.001

摘要

文章主要介绍氮化铝陶瓷基片生产的关键技术.重点研究了原材料控制、氮化铝基片配方、成型工艺、烧结技术、磨抛技术等五个方面的因素对氮化铝陶瓷基片生产的影响以及解决措施.通过研究发现添加3%左右的Y2O3作为烧结助剂,同时采用低温段缓慢升温的方法可以极大地提高氮化铝陶瓷基片的烧成质量.我们的研究,优化了生产工艺,提高了氮化铝陶瓷基片的质量和生产的成品率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘健	中国电子科技集团公司第十三研究所	24	54	4.0	6.0
2	刘志平	中国电子科技集团公司第十三研究所	2	9	2.0	2.0