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摘要:
采用集群磁流变效应研磨加工方法对氮化铝(AIN)陶瓷基片进行研磨加工,系统地分析了主要工艺参数的影响和最终经过精密研磨后的加工表面形貌特征.结果表明,集群磁流变效应研磨加工方法可以实现对氮化铝(AIN)陶瓷基片的高效率高精度研磨加工,原始表面Ra1.730 μm经过粗研10 min和精研30 min后可以达到0.029 μm,下降两个数量级.在粗研阶段,选用二氧化硅磨料#4000、磨料体积分数12%、研磨盘转速150 r/min、研磨压力3.5 kPa,可以获得较高的材料去除率和较光滑的加工表面.
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文献信息
篇名 氮化铝陶瓷基片的集群磁流变效应研磨加工
来源期刊 金刚石与磨料磨具工程 学科 工学
关键词 氮化铝(AIN)陶瓷基片 集群磁流变效应 研磨加工 表面粗糙度
年,卷(期) 2012,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 18-23
页数 6页 分类号 TG58
字数 3723字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 周旭光 深圳职业技术学院机电工程学院 30 65 5.0 7.0
2 阎秋生 广东工业大学机电工程学院 146 787 13.0 20.0
3 刘俊龙 广东工业大学机电工程学院 3 10 2.0 3.0
4 白振伟 深圳职业技术学院机电工程学院 8 63 4.0 7.0
传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
氮化铝(AIN)陶瓷基片
集群磁流变效应
研磨加工
表面粗糙度
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
金刚石与磨料磨具工程
双月刊
1006-852X
41-1243/TG
16开
郑州市高新区梧桐街121号
36-34
1970
chi
出版文献量(篇)
2468
总下载数(次)
7
总被引数(次)
15377
论文1v1指导