PMMA材料制作X射线组合透镜技术研究

• 作者: 乐孜纯 梁静秋
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: X射线组合透镜 三维聚焦性能 PMMA透镜 软X射线光刻
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 60-64
• 页数: 5页
• 分类号: TH74
• 字数: 2308字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2005.z1.014

摘要

给出了基于衍射理论的评价X射线聚焦组合透镜三维聚焦性能的理论方法.利用该理论方法分析得出X射线组合透镜的聚焦性能与透镜的工作波长、透镜材料、单元透镜数量及凹面半径等参数之间的关系.用LIGA技术中的软X射线光刻方法制作了PMMA材料X射线组合透镜.该组合透镜由40个平凹折射单元依次排列而成,相邻的两透镜单元彼此相切,凹面半径分别为200 μm,400 μm,500 μm,600 μm,700 μm.此外,X射线组合透镜的表面粗糙度测试结果表明,粗糙度均方根值小于50 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	乐孜纯	浙江工业大学信息工程学院	82	212	7.0	10.0
2	梁静秋		7	75	5.0	7.0