背面曝光技术制作沙漏状X射线组合折射透镜

• 作者: 乐孜纯 伊福廷 侯凤杰 崔乃迪 朱艳青 梁中翥 梁静秋 王志立 王维彪 董文 黄万霞 黄鑫华
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 组合折射透镜 背面曝光 沙漏状 SU-8
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 核物理学
• 页码范围: 1526-1530
• 页数: 5页
• 分类号: O57
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.03.023

摘要

在分析沙漏状X射线组合折射透镜(X-ray compound refractive lens,XCRL)的折射聚焦理论的基础上,设计并利用背面曝光技术制作了SU-8材料的沙漏状XCRL,该技术在保证图形准确性的同时减少了工艺步骤,使制作更加简便易行.在10keV单色X射线辐射下,对制作的透镜进行了聚焦性能的实验测试,结果表明,所制作的透镜较好地实现了一维聚焦.