兰州重离子冷却储存环10-10 Pa 大型超高真空系统

• 作者: 侯生军 吴慧敏 张军辉 张喜平 张新俊 杨晓天 胡振军 蒙峻 衡昌胜 郝斌干
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 超高真空系统 超高真空获得 材料出气率 真空烘烤
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 43-46,50
• 页数: 5页
• 分类号: TL503.7|TB751
• 字数: 4714字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2005.z1.010

摘要

形成并成功地实施一套完整的超高真空获得方案,以满足兰州重离子加速器冷却储存环(HIRFL-CSL)6×10-9Pa超高真空度的要求.这套方案包括合理选择和配置真空排气系统及其他设备、合理选择材料、采用真空炉除气及在线烘烤等有效措施及大幅度降低材料出气率等.首先在样机上获得了5×10-10Pa的超高真空度,然后将样机的成功经验应用于HIR-FL-CSR大型超高真空系统.目前,已建成的各子系统真空度达到了(2×10-9～4×10-10)Pa.