双材料微梁阵列非制冷红外成像技术--微梁阵列的设计与制作

• 作者: 伍小平 张青川 潘亮 王玮冰 董凤良 郭哲颖 陈大鹏
• 来源期刊: 实验力学
• 学科: 工学
• 关键词: 非制冷红外成像 光学读出 双材料微悬臂梁阵列
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 页码范围: 35-42
• 页数: 8页
• 分类号: TB33|O31
• 字数: 4037字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4888.2005.z1.006

摘要

本文给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件--微悬臂梁阵列的设计和制作,它是SiNx/Au双材料单层膜结构,简化制作工艺、可以直接在空气中成像.实验使用了设计制作的140 × 98微梁阵列和高信噪比的12-bit CCD,得到120℃以上的物体热像,噪声等效温度差(NETD)为5K左右,实验结果与热机械模型预测结果一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张青川	中国科学技术大学中科院材料力学行为和设计重点实验室	68	411	12.0	15.0
2	伍小平	中国科学技术大学中科院材料力学行为和设计重点实验室	62	947	16.0	28.0
3	陈大鹏	中科院微电子研究所	13	126	6.0	11.0
4	王玮冰	中科院微电子研究所	3	43	3.0	3.0
5	潘亮	中国科学技术大学中科院材料力学行为和设计重点实验室	21	91	5.0	9.0
6	董凤良	中国科学技术大学中科院材料力学行为和设计重点实验室	2	16	2.0	2.0