300 mm硅片技术发展现状与趋势

• 作者: 周旗钢
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 经济
• 关键词: 硅材料 300mm硅片 单晶硅生长技术
• 年，卷（期）: 2005,（10）
• 所属期刊栏目: 趋势与展望
• 页码范围: 1-6
• 页数: 6页
• 分类号: F4
• 字数: 7434字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2005.10.001

摘要

综合评述了300mm硅材料在晶体生长、硅片成形、表面质量控制、衬底优化以及表征等方面的研究现状和发展趋势,特别是国内在300mm硅技术研究中所获得的一些成果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周旗钢		12	121	7.0	11.0