基于扫描隧道显微镜的纳米加工技术

• 作者: 于欣蕾 宋会英 张玉林 魏强
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描隧道显微镜 隧道效应 纳米加工 电子束光刻
• 年，卷（期）: 2005,（9）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 425-429,434
• 页数: 6页
• 分类号: TH742|TN16
• 字数: 5629字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2005.09.007

摘要

介绍了具有原子级分辨率的扫描隧道显微镜(STM)的工作原理及其相对于传统的电子束加工所具有的技术优势,阐述了STM在纳米加工中的应用和需要解决的技术难题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张玉林	山东大学控制科学与工程学院	56	465	11.0	19.0
2	魏强	山东大学控制科学与工程学院	14	155	7.0	12.0
6	宋会英	山东大学控制科学与工程学院	7	134	6.0	7.0
7	于欣蕾	山东大学控制科学与工程学院	3	17	2.0	3.0