激光烧蚀过程中密度交叠区振荡稳定时间与晶粒尺寸均匀性的关系

• 作者: 刘景旺 张荣梅 李艳丽 王英龙
• 来源期刊: 河北大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 脉冲激光烧蚀 动力学 纳米Si晶粒 尺寸分布
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 478-481
• 页数: 4页
• 分类号: O78
• 字数: 2976字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1565.2005.05.007

摘要

在不同环境气体中,对脉冲激光烧蚀产生的Si粒子的输运过程进行了Monte Carlo动力学模拟,并实验研究了脉冲激光烧蚀制备纳米Si薄膜的晶粒尺寸分布. 在理论分析和实验研究的基础上,讨论了纳米Si晶粒尺寸分布和烧蚀过程中出现的交叠区振荡稳定时间的对应关系. 结果表明,Si蒸气/环境气体高密度交叠区振荡稳定时间越短,所制备的纳米Si晶粒尺寸分布越均匀.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王英龙	河北大学物理科学与技术学院	96	301	9.0	12.0
2	李艳丽	河北大学物理科学与技术学院	7	10	2.0	3.0
3	刘景旺	北华航天工业学院基础部	15	74	5.0	8.0
4	张荣梅	保定师范专科学校物理系	1	3	1.0	1.0